LVC414 ASM Ciekły parownik odparowujący LVC 414

LVC414 ASM Ciekły parownik odparowujący LVC 414

Szczegóły Produktu

Elektroniczny kontroler odparowywania LVC-414 został zaprojektowany do dokładnego pomiaru i kontroli

masowe natężenie przepływu (gramy / min) materiałów domieszkujących poprzez zmianę przepływu gazu nośnego przez a

barbotaż zawierający materiał źródłowy.

Source materials include SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 and BBr3. Materiały źródłowe obejmują SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 i BBr3. Other doping material can Może inny materiał dopingujący

należy również kontrolować, pod warunkiem że odparowują w odpowiednim stężeniu, aby zapewnić dokładność

ratiodetection. ratiodetection. Carrier gases include H2, He, N2, O2 and Ar. Gazy nośne obejmują H2, He, N2, O2 i Ar.

Dostępne są trzy wyjścia:

Źródło (od 0 do + 5 V prądu stałego).

Nośnik (od 0 do + 5 V prądu stałego)

Stosunek (0 do + 5 V DC).

Wyjścia te można monitorować za pomocą dowolnego woltomierza prądu stałego 5 V o czułości 1000

ohms/volt or more. omów / wolt lub więcej. A built-in valve varies the carrier mass flow rate to control the source Wbudowany zawór zmienia masowe natężenie przepływu nośnika w celu sterowania źródłem

gram/min. gram / min. selected by an external control voltage. wybierane przez zewnętrzne napięcie sterujące.

Pojedynczy mały pakiet zawiera sekcję przepływomierza, detektor stosunku, zawór kontrolny i

elektronika

SPECYFIKACJE

MINIMALNY PRZEPŁYW GAZU PRZEWOŹNIKA: 5% maksimum

MAXIMUM SOURCE FLOW: Up to 40 grams/min. MAKSYMALNY PRZEPŁYW ŹRÓDŁA: do 40 gramów / min. full scale pełna skala

ZAKRES CIŚNIENIA ROBOCZEGO: różnica 10–40 psi

MAKSYMALNE CIŚNIENIE GAZU: 60 psig

ZAKRES TEMPERATURY GAZU I OTOCZENIA: 15-35 ° C (60-90 ° F) do 43 ° C na specjalne zamówienie

ODPOWIEDŹ: 10 sekund z dokładnością do 4% wartości zadanej

GAZY PRZEWOŹNIKOWE: wodór, hel, azot, tlen lub argon, gaz mieszany

POWTARZALNOŚĆ: ± 0,5% pełnej skali

CZUŁOŚĆ CIŚNIENIA: ± 0,25% pełnej skali dla ciśnień od 10 do 40 psid

DOKŁADNOŚĆ I LINIOWOŚĆ: ± 4,0% pełnej skali w całym zakresie roboczym

USTAWIENIA POLECEŃ: 0,1 do 5 V DC

WSKAŹNIK PRODUKTU:

1. ŹRÓDŁO: 0,1-5 V DC liniowo proporcjonalne do masowego natężenia przepływu odparowanej cieczy

2. PRZEWOŹNIK: 0,1-5 Vdc liniowo proporcjonalny do masowego natężenia przepływu gazu nośnego

3. STOSUNEK: 0,1-5 Vdc liniowo proporcjonalny do stosunku przepływu pary (SCCM) do przepływu nośnika

(SCCM) skalowane przy 5 VDC = 50%

IMPEDANCJA WYJŚCIA: maksymalnie 10 omów

RIPPLE: maksymalnie 50 mv pp

Skontaktuj się z nami

miya@mvme.cn(Kliknij)

E-mail: miya@mvme.cn

P: 2851195450

Tel: 86-18020776792

Skype: miyazheng52